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本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　邻里互助 “老工匠”应运而生

　　“我们社区是典型的老城区，60岁以上老人有1000多人，养老服务需求突出。”新光社区党委书记姚晓芳的话，道出了“老工匠”志愿服务队成立的初衷。彼时，社区里有不少刚退休的居民，身体硬朗，且怀有“发挥余热、服务邻里”的热情。社区顺势而为，搭建起邻里互助平台，2019年，“老工匠”志愿服务队应运而生。

　　志愿队始终以“退休不褪色，余热暖社区”为宗旨，从最初的四五人小团体，逐步发展为如今拥有38名骨干、总人数超80人的队伍。副队长张志明是核心发起人之一，他坦言：“退休前我是社区物业专干，熟悉情况；作为党员，更想为邻里做点实事。”正是他与队长陈启楼的带头，凝聚起越来越多的志同道合者。

　　凭借“人熟、地熟、情况熟”的天然优势，“老工匠”们成为社区治理的“润滑剂”和“好帮手”：政策宣传时，他们用“家常话”把惠民政策讲透；邻里有矛盾时，他们以“老邻居”的同理心摆事实、讲道理；老旧小区改造中，他们搭建起社区与居民的沟通桥梁。“很多棘手的问题，经他们耐心劝导，都能顺利解决。”姚晓芳表示，他们让社区治理既有“力度”，更添“温度”。

　　角色转变 志愿服务“双向奔赴”

　　如果说助力社区善治是“老工匠”的“硬贡献”，那么涵养文明新风便是他们的“软力量”。这支队伍以邻里互助为纽带，在潜移默化中传递善意、凝聚人心，让良好风尚在社区里落地生根。

　　“志愿者们经常来陪我聊天，帮我做事，我心里热乎乎的，儿子在外面也放心。”受助老人黄大枝的感受朴实而真切。尤为可贵的是，这份温暖并非单向流动。受到志愿者的感染，黄大枝也主动为楼上工作繁忙的年轻夫妻临时照看孩子。从“被关怀者”到“关怀者”的角色转变，正是友爱互助、文明和谐新风尚扎根生长的生动体现。

　　对“老工匠”们而言，志愿服务同样也是一场“双向奔赴”。“在有限的时间里能为居民做点实事，心里特别自豪。”张志明说，通过“老有所为”，不仅让退休后的生活更充实，也在服务社会中重新找到了人生坐标。

　　前不久，志愿服务队获评全省离退休干部正能量活动团队。近期，社区联动服务队成立了“银发伴友团”项目，通过“情感联结+制度保障”双轮驱动，推动互助服务从“零散化”走向“常态化”。

　　从几名老党员的无私奉献，到如今80多人的志愿团队。“老工匠”们用一份份陪伴、一次次调解，温暖了人心，融洽了邻里，提升了社区治理的效能，以实际行动诠释了志愿精神，为构建守望相助的和谐社区贡献了“银发”力量。（记者 闫丽婷）

中力玻璃有限公司凭借其卓越的综合实力、持续的技术创新能力和领先的市场表现，再次成功入选“中国加工玻璃30强”企业榜单（建筑玻璃13强）。

此次再度蝉联“30强”荣誉，不仅是对中力玻璃过往成绩的认可，也体现了其在行业内的稳固地位与强大竞争力，更是对其未来发展的鞭策与期待。王国华总经理表示：“能够再次获评‘中国加工玻璃30强’，我们深感荣幸，也倍感责任重大。这一荣誉离不开每一位客户的信任、合作伙伴的支持以及全体中力员工的辛勤付出。未来，中力玻璃将继续秉持‘成于品质、精益求精、承诺重信、胜在服务’的经营理念，加大在绿色节能、智能制造、新产品研发等方面的投入，致力于为客户提供更优质、更环保、更具创新性的玻璃解决方案，推动中国加工玻璃行业向高质量、可持续发展不断迈进。”

中力玻璃将认真贯彻落实此次会议精神，延续品质路线，遵循行业高标准要求，与加工玻璃同行一起合作，维护玻璃行业健康发展，为推动中国加工玻璃行业的发展作出更加突出的贡献。

　　今年48岁的汪绍琴现任古舜社区党委书记、居委会主任，自1993年走上社区工作岗位以来，一直扎根基层，以“做好社区民生‘微’实事”为目标，深入调查研究、不断探索社区建设新路子、服务民生新途径，每天忙着解民忧、纾民困，社区居民视她为自己的“贴心人”。今年7月，汪绍琴被评为“池州好人”。　

　　古舜社区位于主城区中心地段，属于商居结合型社区，辖区有农贸市场、超市、商业步行街和5个开放式小区，流动人口多，管理难度大。汪绍琴自任职以来，立足社区实际，精细化服务，大力提升社区治理水平。　

　　她从小处着手，在全市率先设立“邻里议事点”，制定“我为群众办实事”任务清单，积极解决巷道环境整治、晾晒点安装、充电桩设置等重难点问题。　

　　她创新工作思路，探索建立“3156”工作法破解社区治理难题，实行楼栋调解、网格调解、社区调解三层网络体系，开展网格化信息采集、资源整合、成效检验等工作；成立“钱姐工作室”，发动党员、社会工作者、群防群治队伍等“进群”搭建参与平台；组建香樟“古舜之家”“五彩阳光驿站”“乐邻祥和小屋”“心援助幸福家”“解忧援助小栈”5支专业联调团队，动员社区工作者、业委会、志愿者、楼栋长等社会力量共同参与，发挥专业团队优势；采取“听、问、调、帮、和、访”6步工作法使调解工作更加多元化、专业化。2022年“3156”工作法被安徽省民政厅授予“全省优秀社区工作法”。　

　　近年来，汪绍琴依托“香樟古舜”党建服务品牌，为38户困难家庭提供居家关爱服务；为25名社区老年人精心设计订制专属个人的“爱心二维码”，给老年朋友的安全提供有力保障；联合池州学院大学生志愿者先后共为800余名留守儿童连续8年开展“爱暖童心筑梦启航”志愿服务活动；搭建创业就业平台，推送各类就业信息近千余条，帮助推荐就业岗位45个。　

　　多年来，汪绍琴在平凡的工作岗位上始终恪守“奉献不言苦，追求无止境”的人生格言，不仅高质量完成上级交办的各项工作任务，还赢得了群众的广泛赞誉。她先后获得“全国妇联系统劳动模范”“池州市皖美警嫂”“池州市‘十佳’村（社区）党组织书记”等荣誉，并当选安徽省第十一次党代会代表、池州市第五次党代会代表、贵池区第十六届人大代表。　

　　“我只是一个平凡的社区干部，取得的成绩属于社区所有工作人员。今后，我将继续用心用情做好服务，努力成为社区居民最信赖的‘贴心人’。”面对众多荣誉和赞美，汪绍琴说。（记者 倪晓春）

　　环境整治的战场上，志愿红马甲是最亮眼的底色。青年志愿服务队扛着工具奔走在整治一线，河道里的漂浮物、路边的杂草堆、墙角的废弃杂物，都被他们一一清理干净。“3·5”学雷锋纪念日当天，百余名志愿者分片行动，用半天时间让三条多年未彻底清扫的小巷焕然一新；植树节里，他们带着树苗在荒坡上忙碌，培土、浇水，细致得像对待自家菜园，数百棵新栽的树苗在春风里挺直腰杆。曾经的卫生死角变成了整洁的小广场，堆满垃圾的河岸种上了花草，村民们走在路上，看着越来越清爽的家园，脸上的笑容也多了起来。

　　志愿者们会定期前往孤寡老人的住所，为其打扫房间、购置生活所需物品。他们陪伴老人聊天以排解其烦闷，倾听老人讲述过往经历，为老人的生活带去温暖与慰藉。在关爱留守儿童领域，志愿者们借助“宜童享未来”暑期课堂等活动，为孩子们辅导课业，开展各类兴趣课程。来自多所院校的大学生志愿者以耐心与爱心为孩子们开启知识的大门，充实了孩子们的暑期生活，助力他们健康成长。

　　文明实践的舞台上，志愿红马甲是最活跃的主角。新时代文明实践所联合各方力量，把服务和欢乐送到村民家门口。“文明大集市”定期开集，医务人员搭起临时诊疗台，量血压、听心率，还手把手教老人做降压操；理发师带着工具来摆摊，免费给村民剪发，剪完还会给老人梳个精神的发型；非遗传承人现场教捏泥人，孩子们围在旁边学得不亦乐乎。机关干部志愿者则化身“宣讲员”，用村民听得懂的土话讲政策、说故事，把“绿水青山就是金山银山”的道理融进身边的变化里。这些活动像磁石一样吸引着村民，有人来办事，有人来学艺，有人来聊天，热闹的场面里藏着浓浓的烟火气和幸福感。

　　如今的五横乡，志愿精神已融入乡风吹进人心。越来越多的村民从“看客”变成“参与者”，曾经受助的张大叔主动加入环境整治队，被辅导过的孩子假期当起“小小志愿者”。这抹志愿红，不仅擦亮了乡村的颜值，温暖了百姓的日子，更凝聚起共建家园的力量，让五横乡在乡村振兴的路上走得更稳、更暖。（通讯员 张佳）

　　据悉，大野智决定将5月31日在东京巨蛋举行的岚最终公演作为隶属于事务所的最后一场舞台，之后正式离开公司。据相关人士透露，对于未来规划，大野智表示将“按照自己的节奏去思考和规划”。

　　作为岚的队长，大野智于2017年6月向其他四位成员坦言“想暂时摆脱一切束缚，过一段自由的生活”，这一坦诚成为组合决定休止活动的契机。五人全员一致决定于2020年末起无限期活动休止，大野智也随之暂停个人演艺活动。

　　2025年5月6日，岚五人一同出现在面向粉丝俱乐部的视频中；随后宣布于2026年3月13日起开启最终巡演，并将于5月末正式结束组合活动。大野智此次退所，标志着这位陪伴组合走过巅峰岁月的队长，将正式开启人生新篇章。